产品及解决方案
半导体功率循环老化检测设备
2022-07-18
半导体功率循环老化检测设备
CXPC-2000A10V4C鲁欧智造
www.luology.com
主要功能
2
⚫ 瞬态热测试
➢ 符合JEDEC 51-1、JEDEC 51-14热测试规范（静态法）
➢ 可测试各类功率器件（IGBT、Diode、MOSFET），获得热瞬态响应曲线
➢ 对器件结温测量达到0.01°C的超高精度
➢ 最大1MHz的多段变速数据采集
⚫ 功率循环测试
➢ 有机整合温度循环测试与瞬态热测试，在温度循环的同时对结构变化进行实时监测
➢ 无需在温度循环过程中暂停试验取出样品到第三方机构进行检查
➢ 可以同时对最大16个样品进行功率循环测试
➢ 可以同时实施4种不同的电流策略
➢ 每个电源通道可最大驱动4个串联的器件进行测试
⚫ 热结构分析
➢ 根据JEDEC 51-14标准获得器件的结构函数，进行热结构分析
➢ 可获得符合JEDEC 51-14标准的结壳热阻值（
Rth-jc）
➢ 可与第三方流体仿真软件结合使用，获得器件的精准三维热模型
➢ 可与第三方流体仿真软件结合使用，获得各种器件材料及工艺相关的热学参数产品规格
⚫ 高速大电流供电 （500A x 4ch）
➢ 最大开关电流：500A/10V
➢ 开关速度：50μs
➢ 内置测温小电流源
• 电流输出范围：-1A ~ 1A
• 最大输出电压：-10V ~ 10V
➢ 系统最大可配置4个供电通道，总供电能力达到2000A
⚫ 数据采集
➢ 每个高速电源通道搭配4 个独立的数据采集单元，可对四个串联样品同时测量
➢ 输入范围：±5V（差分）
➢ 最大分辨率：10μV
➢ 最大采样频率：1MHz
➢ 采样模式：程控变速采样
⚫ 门控电压源
➢ 每个高速电源通道搭配4 个独立的门控电压源，可提供4路门控电压
➢ 电压输出范围：-10V ~ 20V
➢ 驱动方式：隔离供电
⚫ 工业计算机
➢ 搭载高品质IPC用于总体控制
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www.luology.com定制工作台
⚫ 标准大功率水冷板：15cm x 30cm（尺寸也可根据用户要求进行定制）
➢ 纯铜（紫铜）打造，高效散热冷却。
➢ 无焊缝、无穿孔的整体式结构，可在-20°C~180°C环境下长期使用。
➢ 搭配循环温控设备，可对器件样品进行温度系数标定。
➢ 搭配循环冷却系统，可实施大功率器件的瞬态热测试、功率循环测试。
➢ 预埋设高精度感温探头（Pt100），连接中控电脑进行测试方案设定以及安全管理。
⚫ 定制化测试夹具
➢ 样品固定夹具定制、电线连接端子定制。
➢ 与水冷板搭配使用，大幅提高测试效率和测量精度。
⚫ 定制化水冷系统
➢ 根据用户需求对冷却水管道系统进行定制
➢ 可提供额外水路接口
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